发明名称 PROCEDE DE TRAITEMENT D'UNE PLAQUE DESTINEE A ETRE ASSEMBLEE PAR COLLAGE DIRECT SUR UNE AUTRE PLAQUE, ET PLAQUE CORRESPONDANTE
摘要 <p>Procédé de traitement d'une plaque destinée à être assemblée par collage direct sur une autre plaque, la plaque comprenant une face à assembler comportant un matériau isolant. Le procédé comprend une application d'une solution chimique (SCH) ou un traitement par un plasma sur au moins une portion de la partie périphérique (PP) de ladite face à assembler de façon à conférer à ladite au moins une portion un caractère intrinsèque moins hydrophile que le reste de la plaque.</p>
申请公布号 FR3016733(A1) 申请公布日期 2015.07.24
申请号 FR20140050572 申请日期 2014.01.23
申请人 STMICROELECTRONICS (CROLLES 2) SAS 发明人 GUYADER FRANCOIS;DELOFFRE EMILIE
分类号 H01L21/98 主分类号 H01L21/98
代理机构 代理人
主权项
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