| 发明名称 |
SLURRY AND/OR CHEMICAL BLEND SUPPLY APPARATUSES |
| 摘要 |
반도체 제조 설비에서 화학적 기계적 평탄화(CMP) 기기 또는 다른 기기에 슬러리 및/또는 화학적 배합물을 제공하기에 적합한 슬러리 및/또는 화학적 배합물 공급 장치, 관련 공정, 사용 방법 및 제조 방법이 본원에 개시된다. 이러한 슬러리 및/또는 화학적 배합물 공급 장치는 공급 모듈, 배합 모듈, 분석 모듈 및 분배 모듈 중 하나 이상을 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20150085013(A) |
申请公布日期 |
2015.07.22 |
| 申请号 |
KR20157015652 |
申请日期 |
2013.11.13 |
| 申请人 |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. |
发明人 |
BYERS GARY ALLEN;DERECSKEI BELA;BAYER BENJAMIN PATRICK |
| 分类号 |
G05D11/13;B01F3/08;B01F5/02;B01F5/10;B01F5/12;B01F15/00;B01F15/04 |
主分类号 |
G05D11/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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