发明名称 一种抓取和释放样品托的真空机械手
摘要 本发明提供一种抓取和释放样品托(14)的真空机械手,包括夹持装置(9)、传送杆(10)和驱动装置(11)。驱动装置(11)安装在传送杆(10)的一端并驱动其旋转和沿旋转轴线方向直线移动,夹持装置(9)安装在传送杆(10)的另一端,样品托(14)具有向外延伸的包括柄头(16)和柄颈(17)的把柄(15)。其中,夹持装置(9)包括外套筒(2),可旋转地设于外套筒(2)内的夹持轴(3),部分进入容槽(13)内的偏压机构(22),以及设于夹持轴(3)内并能够使夹持轴(3)旋转定位的定位机构(18);在外套筒(2)旋转至第一相对位置时,限位开口(12)与容槽(13)相对准,从而允许柄头(16)的进出;在限位开口(12)与容槽(13)相对错开的第二相对位置,柄头(16)不能进入或退出容槽(13)。这种结构的真空机械手简化了机械手结构,降低了制造成本,而且增强了可靠性,延长了传递距离。
申请公布号 CN103419205B 申请公布日期 2015.07.22
申请号 CN201210160383.X 申请日期 2012.05.22
申请人 中国科学院物理研究所 发明人 郭晓东;颜世超;谢楠;单欣岩;郭阳;陆兴华
分类号 B25J11/00(2006.01)I 主分类号 B25J11/00(2006.01)I
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人 蔡民军
主权项 一种抓取和释放样品托(14)的真空机械手,包括夹持装置(9)、传送杆(10)和驱动装置(11),所述驱动装置(11)安装在所述传送杆(10)的一端并驱动所述传送杆(10)旋转和沿旋转轴线方向直线移动,所述夹持装置(9)安装在所述传送杆(10)的另一端,所述样品托(14)具有向外延伸的把柄(15),所述把柄(15)具有柄头(16)和柄颈(17),其特征是,所述夹持装置(9)包括外套筒(2),所述外套筒(2)在一端固定连接所述传送杆(10)并在另一端具有在特定角位让柄头(16)通过的限位开口(12);可相对所述外套筒(2)旋转地设于所述外套筒(2)内的夹持轴(3),所述夹持轴(3)具有与所述限位开口(12)连通并与所述柄头(16)大致互补的容槽(13);至少有一部分进入所述容槽(13)内的偏压机构(22),所述偏压机构(22)用于顶压进入所述容槽(13)的所述柄头(16);以及设于所述夹持轴(3)内并能够使所述夹持轴(3)相对所述外套筒(2)定位的定位机构(18);在所述外套筒(2)相对所述夹持轴(3)旋转至第一相对位置时,所述限位开口(12)与容槽(13)相对准,从而允许所述柄头(16)的进出;在所述限位开口(12)与容槽(13)相对错开的第二相对位置,所述柄头(16)不能进入或退出所述容槽(13)。
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