多个真空室样品自动交接旋转伸缩机构

摘要

多个真空室样品自动交接旋转伸缩机构，克服了现有技术采用磁力杆实现各个真空室样品交接，在多个真空室样品交接的情况下，其它真空室也需要相应地安装磁力杆来实现各个真空室样品交接，需要多个磁力杆，占空间大，且手动操作控制和采用同步带拉动的机构，运动精度低，在真空环境下放气速率较高，降低系统真空度，不能用于超高真空环境的问题，特征是采用三层伸缩杆两层连接轴或者四层伸缩杆三层连接轴的结构，每两层伸缩杆之间均采用V型导轨滑动连接，有益效果是，结构紧凑，传动平稳，精度高，在多个真空室样品交接的情况下，实现了自动控制，节省了空间，降低了成本，提高了工作效率，可满足不同伸缩距离的多个真空室样品进行交接的需求。

主权项

多个真空室样品自动交接旋转伸缩机构，包括第一伺服电机（1）和第二伺服电机（21），其特征在于，在第二伺服电机（21）的输出轴上安装主动直齿轮（20），第一伺服电机（1）和磁流体内轴（6‑1）连接，第一伺服电机支撑座（4）和磁流体外轴（6‑2）连接，在磁流体外轴（6‑2）安装从动直齿轮（5），在磁流体内轴（6‑1）的顶端安装主动伞齿轮（7），磁流体外轴（6‑2）上端与伸缩杆支撑架（18）固定连接，伸缩杆支撑架（18）与第一伸缩杆（9）固定连接，第一伸缩杆（9）与第二伸缩杆（11）之间以及第二伸缩杆（11）与第三伸缩杆（13）之间均采用滑动连接，在第一伸缩杆（9）中安装第一连接轴（33），在第一连接轴（33）的两端分别安装第一直齿轮（27）和从动伞齿轮（8），在第二伸缩杆（11）中安装第二连接轴（32），在第二连接轴（32）的两端分别安装第二直齿轮（25）和第五直齿轮（17），在第一伸缩杆（9）上固定安装第一齿条（10），并使第一齿条（10）与第五直齿轮（17）啮合，在第二伸缩杆（11）上固定安装第二齿条（26）和第五齿条（12），并使第二齿条（26）与第一直齿轮（27）啮合，使第五齿条（12）与第四直齿轮（16）啮合，在第三伸缩杆（13）上固定安装第三齿条（24），使第三齿条（24）与第二直齿轮（25）啮合。