一种LED外延片检测方法及装置

摘要

本发明公开了一种LED外延片的检测方法及装置。该方法包括：在LED外延片的上、下端面之间施加一交流方波电压，并且所述交流方波电压的大小足以驱动LED外延片发光。该装置包括：用于承载LED外延片的导电基底，且所述导电基底与LED外延片下端面接触；导电探针，其与LED外延片的上端面接触，以及，用于在所述导电基底与导电探针之间施加一交流方波电压的交流方波电压源，所述交流方波电压的大小足以驱动LED外延片发光。本发明较之现有的探针式电致发光（EL）测试方法，只需单一探针，无需实施点In等操作，不仅操作简单，高效快捷，成本低廉，不会污染或损伤LED外延片，而且测试结果稳定准确，能够实现对各种类型LED外延片的在线EL测试，通用性强。

主权项

一种LED外延片检测方法，其特征在于，它包括：将LED外延片置于一导电基底上，且使位于所述LED外延片上部的半导体材料层的上端面与一导电探针接触，同时使位于所述LED外延片下部的衬底的下端面与一导电基底接触，以及，在所述导电基底和导电探针之间施加一交流方波电压，并且所述交流方波电压的大小足以驱动LED外延片发光。