一种鳍式二极管及其制备方法

摘要

本发明提供了一种鳍式二极管及其制备方法，包括：提供一具有第一掺杂类型的衬底；刻蚀所述衬底，于所述衬底内形成若干鳍状结构；沉积一掩膜层覆盖在所述沟槽底部；在所述鳍状结构顶部制备一外延层，且该外延层将位于所述鳍状结构顶部的部分侧壁予以覆盖；对所述外延层进行掺杂，使所述外延层具有第二掺杂类型。本发明通过采用一具有离子掺杂类型的衬底制备形成鳍状结构，然后在鳍状结构顶部和部分侧壁制备一外延层，并使对该外延层进行原位掺杂，使得鳍状结构与外延层的掺杂类型相反，在两者接触面形成P-N异质结，有利于增加结接触面积，同时可控制原位掺杂的参数来对二极管的电学性能进行调整。

主权项

一种鳍式二极管的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一具有第一掺杂类型的衬底；刻蚀所述衬底，于所述衬底内形成若干鳍状结构，且相邻鳍状结构之间形成有沟槽；沉积一掩膜层覆盖在所述沟槽底部表面；在所述鳍状结构顶部制备一外延层，且该外延层将位于所述鳍状结构顶部的侧壁予以覆盖；对所述外延层进行掺杂，使所述外延层具有第二掺杂类的型；其中，所述第一掺杂类型与所述第二掺杂类型相反。