二维工件对准的系统与方法

摘要

揭示一种能够固持一个或一个以上工件的承载器。承载器包含沿着承载器中的每一单元的边定位的可移动突起。此承载器结合独立对准设备使用多步对准过程相对于若干对准销来对准相应单元内的每一工件，以保证单元中的工件的恰当定位。首先，使工件朝所述单元的一侧边移动。一旦工件已相对于此边对准，工件便接着朝邻近正交边移动，以使得工件与单元的两侧边对准。一旦对准，工件便由沿着每一单元的每一侧边定位的突起固持于适当位置。另外，对准销还用以对准相关联的罩幕，进而保证罩幕与工件恰当地对准。

主权项

一种用于固持至少一个工件的系统，包括：承载器，包括多个壁，布置为栅格，其中所述壁中的四个界定单元的周边，其中所述单元经配置以固持工件；沿着所述周边的第一侧边定位的一个对准销以及沿着所述周边的第二侧边定位的一个对准销，所述第二侧边邻近且垂直于所述第一侧边；多个可移动突起，沿着所述单元的所述周边的第三侧边以及第四侧边定位，其中所述第三侧边以及所述第四侧边分别与所述第一侧边以及所述第二侧边相对，且其中所述可移动突起各自包括开口；以及偏置构件，与所述可移动突起中的每一个连通以使得所述可移动突起自然地偏置到所述周边中；以及致动器，经配置以进入所述可移动突起中的每一个中的所述开口，所述致动器使所述可移动突起远离所述周边而移动到固持位置。