发明名称 一种覆晶式半导体发光器件结构与其制造方法
摘要 本发明公开了一种覆晶式半导体发光器件结构及其制作方法。一种覆晶式半导体发光器件结构,包括:支撑基板;发光外延层位于所述支撑基板之上,依次由p型半导体层、发光活性层、n型半导体层、缓冲层构成;透光性生长衬底,位于所述发光外延层之上;其特征在于:一规则的图形化空气夹层,位于所述生长衬底与发光外延层之间,其具有光学匹配厚度。通过在衬底与外延层之间具有光学匹配厚度的图形化散热空气夹层,可以达到增加透光和散热效果。
申请公布号 CN102683531B 申请公布日期 2015.07.22
申请号 CN201210182009.X 申请日期 2012.06.05
申请人 厦门市三安光电科技有限公司 发明人 钟志白;杨建健;陈文欣;梁兆煊
分类号 H01L33/20(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/20(2010.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种覆晶式半导体发光器件结构,包括:支撑基板;发光外延层位于所述支撑基板之上,依次由p型半导体层、发光活性层、n型半导体层、缓冲层构成;透光性生长衬底,位于所述发光外延层之上;其特征在于:一规则的图形化空气夹层,位于所述生长衬底与发光外延层之间,其具有光学匹配厚度。
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