一种光纤珐珀传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种光纤珐珀传感器及其制作方法，所述的传感器包括：光纤和被接光纤，在所述光纤或/和被接光纤的端面设有微槽，所述光纤和被接光纤对接连接在一起，所述微槽形成FP腔，所述FP腔的光学发射面为平面，所述光纤珐珀传感器的外端面加工成薄片，在所述薄片中间位置刻蚀出一个凸起的圆柱体。本发明的光纤珐珀传感器实现了传感器的简单复用，即在一个传感头上制作出两个不同的珐珀腔，通过这两个不同的珐珀腔来实现双参数测量，利用空气腔对温度不敏感的特性用其测量压力或者加速的，同时利用实心腔对温度的敏感特性实现对温度的测量。

主权项

一种对温度和压力或者温度和加速度同时测量的光纤珐珀传感器，包括：光纤和被接光纤，在所述光纤或/和被接光纤的端面设有微槽，所述光纤和被接光纤对接连接在一起，所述微槽形成FP腔，所述FP腔的光学发射面为平面，所述光纤珐珀传感器的外端面加工成薄片，在所述薄片中间位置刻蚀出一个凸起的圆柱体；所述薄片的厚度小于60微米；所述圆柱体的厚度为10到30微米，直径10到60微米；所述光纤和被接光纤是采用石英、聚合物、宝石或光子晶体材料制成的单模或多模光纤。