用于光刻设备的粗动台的质心测校的方法

摘要

本发明公开一种用于光刻设备的粗动台的质心测校的方法，用于测试粗动台的质心相对形心的偏移量，包括：对所述粗动台的水平X、Y、Rz三自由度均闭环控制后变换为粗动台坐标系；预估所述X向及Y向质心所处范围并N等分，将所述等分点作为质心偏心量；利用所述质心偏心量进行补偿计算及测校计算后获得N组Rz的位置偏差数据；将N组Rz的位置偏差数据的最小值与设定的Rz偏差阈值进行比较，如果小于所述Rz偏差阈值则测试完成，否则选择Rz值最小的该组测试对应的偏心量的前后两个偏心量值作为新的质心范围并重新计算直至最终测试的Rz向误差值小于阈值。

主权项

一种用于光刻设备的粗动台的质心测校的方法，用于测试粗动台的质心相对形心的偏移量，其特征在于：步骤一、对所述粗动台的水平X、Y、Rz三自由度均闭环控制后变换为粗动台坐标系；步骤二、预估所述X向及Y向质心所处范围并N等分，将等分点作为质心偏心量；步骤三、利用所述质心偏心量进行控制器补偿计算及测校计算后获得N组Rz的位置偏差数据；步骤四、将N组Rz的位置偏差数据的最小值与设定的Rz偏差阈值进行比较，如果小于所述Rz偏差阈值则测试完成，否则选择Rz值最小的该组测试对应的偏心量的前后两个偏心量值作为新的质心范围并重新返回步骤三；步骤五，得出实际质心的偏心量。