基板処理装置,申请号JP20130228659-传众专利搜索

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发明名称	基板処理装置
摘要
申请公布号	JP5752210(B2)	申请公布日期	2015.07.22
申请号	JP20130228659	申请日期	2013.11.01
申请人		发明人
分类号	H01L21/304;H01L21/306	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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