发明名称 |
一种高温合金表面高温绝缘涂层的制备方法 |
摘要 |
本发明公开一种高温合金表面高温绝缘涂层的制备方法,步骤:1)将高温合金基片表面预处理;2)在高温合金基片表面沉积一层Ti金属层;3)在Ti金属层上继续沉积一层Al金属层;4)将高温合金基片表面的Al金属层完全氧化,直至氧化部分Ti金属层;5)选用高温绝缘材料对氧化后的涂层表面进行多次封孔处理,将涂层中的孔洞填充;6)在表面涂层上溅射Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>,将表面涂层中剩余的缝隙填充;7)将高温合金基片热处理,使涂层中Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>的晶型向α—Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>转化。本发明能以更高的效率制备一种在高温下仍具有较好绝缘性的涂层,结合牢固,且制备工艺更为灵活。 |
申请公布号 |
CN104789964A |
申请公布日期 |
2015.07.22 |
申请号 |
CN201510133719.7 |
申请日期 |
2015.03.25 |
申请人 |
上海交通大学 |
发明人 |
牛迪;孙云娜;丁桂甫 |
分类号 |
C23C28/00(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I |
主分类号 |
C23C28/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海汉声知识产权代理有限公司 31236 |
代理人 |
徐红银;郭国中 |
主权项 |
一种高温合金表面高温绝缘涂层的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:1)将高温合金基片表面打磨平整,并依次用丙酮、酒精、去离子水超声清洗干净,烘干;2)采用磁控溅射技术在经过步骤1)处理的高温合金基片表面沉积一层Ti金属层,所得到的Ti金属层厚度为1μm以上;3)在Ti金属层上继续沉积一层Al金属层,所得到的Al金属层厚度为1μm以上;4)将高温合金基片表面Al金属层完全氧化,直至氧化部分Ti金属层;5)选用高温绝缘材料对氧化后的涂层表面进行多次封孔处理,将涂层中的孔洞填充,提高绝缘性;6)采用磁控溅射技术在经步骤5)处理后的表面涂层上溅射Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>,将表面涂层中剩余的缝隙填充;7)将步骤6)中制备好的高温合金基片放入马弗炉,在800~1200℃热处理,使表面涂层中Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>的晶型向α—Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>转化。 |
地址 |
200240 上海市闵行区东川路800号 |