发明名称 用于厚层之光敏性聚合物树脂及包含该树脂之树脂组合物
摘要
申请公布号 TWI493288 申请公布日期 2015.07.21
申请号 TW102113032 申请日期 2013.04.12
申请人 艾斯恩有限公司 发明人 车爀鎭;柳美善;朴陈圭;郑盛在
分类号 G03F7/028;G03F7/038;G03F7/039;C08L33/08;C08L33/02 主分类号 G03F7/028
代理机构 代理人 陈翠华 台北市松山区南京东路3段261号6楼
主权项 一种光敏性聚合物树脂,其系包含一由以下化学式1表示的重复单元: 其中,n系一1至30之整数,m系一1至50之整数,R1系或(其中,R2及R3系各自为一具有1至30个碳原子之烷基、烯丙基、芳香基、芳烷基、或环烷基(cycloalkyl group)),X系一二价茀衍生物(fluorene derivative)化合物,以及Y系一四价有机基(organic group)。
地址 南韩