| 主权项 |
一种用于检测具周期性结构之光学薄膜的瑕疵检测方法，包括以下步骤：(A)于一具有周期性结构之待检测光学薄膜上撷取之一原始影像，该原始影像具有m个周期之周期性结构，其中m为正数；(B)从该原始影像中撷取一子影像，该子影像包含n个周期之周期性结构，其中n为正数，且n<m；(C)从该原始影像中撷取一比对影像，该比对影像包含n组重复排列之结构，其中n为正数，n<m，该比对影像的撷取位置与该子影像不同，但该比对影像的面积与该子影像相同；(D)将该子影像与该比对影像进行一影像处理以得到一处理影像；(E)计算该处理影像之一平均灰阶值；以及(F)分析该平均灰阶值以判断该子影像所对应之光学薄膜是否具有瑕疵。 |
