| 摘要 |
<p>본 발명은, 보트 본체의 지지부의 각각에 탈착가능하게 장착되어, 피처리 기판이 재치되는 지지 보조 부재를 구비한 종형 열처리용 보트로서, 지지 보조 부재는, 지지부에 장착되는 가이드 부재와, 피처리 기판이 재치되는 판 형상의 기판 지지 부재를 가지며, 가이드 부재는 상면에 구멍이 형성되고 기판 지지 부재는 가이드 부재의 구멍에 끼워 넣어져서 위치되고, 피처리 기판의 재치면의 높이 위치가, 가이드 부재의 상면의 높이 위치보다 높고, 기판 지지 부재는, 탄화규소 등으로 이루어지고, 가이드 부재는, 석영 등으로 이루어지는 종형 열처리용 보트이다. 이에 의해, 지지 보조 부재를 구비한 종형 열처리용 보트에 실리콘 웨이퍼와 같은 피처리 기판을 실어 아르곤 등을 이용한 열처리를 실시할 때의, 실리콘 웨이퍼로의 Fe 오염 전사와 실리콘 웨이퍼 이면의 면 거칠어짐의 양자를 억제할 수 있는 종형 열처리용 보트 및 이를 이용한 실리콘 웨이퍼의 열처리 방법이 제공된다.</p> |
