METHOD FOR SUPPLYING SEQUENTIAL POWER IMPULSES

摘要

본 발명은 부분 캐소드로 세분되는 PVD 스퍼터링 캐소드를 위한 전력 펄스를 제공하기 위한 방법에 관한 것으로, 이 경우 부분 캐소드에 작용하는 전력 펄스 간격들은 중첩되도록 선택되므로, 전력을 제공하는 제너레이터로부터 전력 인출이 중단되지 않아도 된다.