| 摘要 |
<p>Vorrichtung zum Ausrichten eines Substrates (1) und einer Maske (6) zueinander, wobei das Substrat (1) eine Substratkontaktfläche (4) und die Maske (6) eine Maskenkontaktfläche (9) aufweisen und die Substratkontaktfläche (4) mit der Maskenkontaktfläche (9) in Kontakt bringbar ist, umfassend einen Substratträger (2) zur Aufnahme des Substrates (1) in einer Substratebene (3), einen Maskenträger (7) zur Aufnahme einer Maske (6) in einer Maskenebene (8), ein Substratpositionierungsmittel (5) sowie ein Maskenpositionierungsmittel (10), welches mit dem Maskenträger (7) verbunden ist, wobei der Maskenträger (6) mittels des Maskenpositionierungsmittels (10) parallel zur Maskenebene (8) bewegbar und um eine Achse senkrecht zur Maskenebene (8) drehbar ist, der Substratträger (2) mittels des Substratpositionierungsmittels (5) entlang einer Achse senkrecht zur Maskenebene (8) bewegbar ist und das Substratpositionierungsmittel (5) sowie der Substratträger (2) jeweils kugelkalottenförmige Kontaktflächen (11) gleicher Kontaktflächendurchmesser aufweisen, wobei das Substratpositionierungsmittel (5) und der Substratträger (2) gegeneinander verdrehbar und schwenkbar sind und der Substratträger (2) am Substratpositionierungsmittel (5) fixierbar ist, wobei bei bestimmungsgemäßem Gebrauch der Mittelpunkt der Kontaktflächendurchmesser in der Substratkontaktfläche (4) liegt.</p> |
