| 摘要 |
<p>Multilayer-Spiegel (100) für den EUV-Spektralbereich, umfassend–eine erste periodische Schichtenfolge (10), die eine Vielzahl von Schichtpaaren (12) aufweist, wobei die Schichtpaare (12) jeweils eine Schicht (1) aus einem ersten Material und eine weitere Schicht (2) aus einem zweiten Material aufweisen, und–eine auf der ersten periodischen Schichtenfolge (10) angeordnete zweite periodische Schichtenfolge (20), die mindestens zwei Schichtpaare (34) aufweist, wobei die Schichtpaare (34) der zweiten periodischen Schichtenfolge (20) jeweils eine Schicht (3) aus einem dritten Material und eine weitere Schicht (4) aus einem vierten Material aufweisen, wobei–das dritte Material von dem ersten und dem zweiten Material verschieden ist,–das dritte Material TiO2 oder Nb2O5 ist, und–das vierte Material Silizium ist.</p> |
