发明名称 パターン未形成接着層を利用した3次元電子回路パッケージ
摘要 第1の基板の上に、絶縁材料からなる第1の層を、接点パッドを覆うように形成するステップと、第1の層を貫通する開口を形成して、接点パッドを露出させるステップと、第1の層の上に、パターン未形成の第2の層を形成するステップであって、第2の層は、第1の層の粘度より低い粘度を有する接着剤を含み、第2の層の一領域が接点パッドをふさぐ、上記ステップと、上記領域を除去して、接点パッドを再度露出させるステップと、第2の基板を第1の基板と位置合わせするステップであって、第2の基板のビアが開口と位置合わせされる、上記ステップと、第1の基板と第2の基板とを、第2の層において貼り合わせるステップと、ビア及び開口を通して導電性材料を堆積させることにより、接点パッドと接触する相互接続を形成するステップと、によって、電子回路パッケージが組み立てられてよい。
申请公布号 JP2015520525(A) 申请公布日期 2015.07.16
申请号 JP20150518645 申请日期 2013.06.25
申请人 リサーチ トライアングル インスティテュート 发明人 ヴィック,エリック,ポール
分类号 H01L25/065;H01L21/60;H01L25/07;H01L25/18 主分类号 H01L25/065
代理机构 代理人
主权项
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