摘要 |
第1の基板の上に、絶縁材料からなる第1の層を、接点パッドを覆うように形成するステップと、第1の層を貫通する開口を形成して、接点パッドを露出させるステップと、第1の層の上に、パターン未形成の第2の層を形成するステップであって、第2の層は、第1の層の粘度より低い粘度を有する接着剤を含み、第2の層の一領域が接点パッドをふさぐ、上記ステップと、上記領域を除去して、接点パッドを再度露出させるステップと、第2の基板を第1の基板と位置合わせするステップであって、第2の基板のビアが開口と位置合わせされる、上記ステップと、第1の基板と第2の基板とを、第2の層において貼り合わせるステップと、ビア及び開口を通して導電性材料を堆積させることにより、接点パッドと接触する相互接続を形成するステップと、によって、電子回路パッケージが組み立てられてよい。 |