发明名称 |
藉由丛发超快雷射脉冲能量转移在基材上正向沈积之方法及装置;METHOD AND APPARATUS FOR FORWARD DEPOSITION ONTO A SUBSTRATE BY BURST ULTRAFAST LASER PULSE ENERGY TRANSFER |
摘要 |
一种将一材料正向沈积在一标靶基材上之方法,其系使一雷射光束之一超快雷射脉冲丛波通过一雷射光束透明之载体基材。该载体基材系以一欲转移之材料涂布在其底侧。在涂布该材料之该透明载体背面上的电子被该雷射光束最先少许的子脉冲激发,而使该材料从该载体基材上剥离,且该雷射光束之后续子脉冲,将该材料以超音波速度藉由一震波送入空间中,且该震波以正向动量驱动该材料通过在该载体基材与该标靶基材间之一狭窄间隙,并且到达该标靶基材上。 |
申请公布号 |
TW201528338 |
申请公布日期 |
2015.07.16 |
申请号 |
TW103139950 |
申请日期 |
2014.11.18 |
申请人 |
柔芬新拿科技公司 ROFIN-SINAR TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
荷西尼 阿巴斯 HOSSEINI, S. ABBAS |
分类号 |
H01L21/20(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/20(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
俞大卫 |
主权项 |
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地址 |
美国 US |