| 发明名称 |
基板上之自组装单分子膜或周期性有机矽酸盐的旋转涂布用系统及方法;SYSTEM AND METHODS FOR SPIN-ON COATING OF SELF-ASSEMBLED MONOLAYERS OR PERIODIC ORGANOSILICATES ON A SUBSTRATE |
| 摘要 |
本揭露书系关于以分子自组装(Molecular Self-assembly，MSA)化学物对基板旋转涂布以在基板上形成光阻膜及/或低介电常数(低-k)膜的处理系统。本旋转涂布处理系统包括可接收并将MSA化学物旋转涂布到基板上的旋转涂布腔室，以及在旋转涂布程序之后热处理基板的退火腔室。某些实施例中，旋转涂布处理系统也可在旋转涂布程序以前预处理或预润湿基板。 |
| 申请公布号 |
TW201528369 |
申请公布日期 |
2015.07.16 |
| 申请号 |
TW103144035 |
申请日期 |
2014.12.17 |
| 申请人 |
东京威力科创股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
尼格雷亚 阿伊诺阿 罗莫 NEGREIRA, AINHOA ROMO;纳佛斯 凯瑟琳 NAFUS, KATHLEEN;桑原雄平 KUWAHARA, YUHEI;松永浩一 MATSUNAGA, KOICHI |
| 分类号 |
H01L21/31(2006.01);H01L21/312(2006.01);H01L21/324(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/31(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
周良谋周良吉 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 JP |
