电浆处理装置

摘要

在电浆处理装置中抑制成膜于喷淋板的气孔且有效率地使电浆产生，该电浆处理装置系具有将气体导入至处理容器内的喷淋板，且藉由微波使表面波电浆产生。具备了进行电浆处理之处理容器(10)与将气体供给到处理容器(10)内之喷淋板(100)的电浆处理装置，系具有：下垂构件(101)，从喷淋板(100)之下端面向下方突出。下垂构件(101)之外侧面，系从上端部朝向下端部往外侧扩展，喷淋板(100)，系具备有：复数个第1供给口(133)，将第1气体供给至处理容器(10)内；及复数个第2供给口(151)，供给第2气体，第1气体供给口(133)系配置于比下垂构件(101)之外侧面更靠近内侧，第2气体供给口(151)系配置于比下垂构件之外侧面更靠近外侧。