基板处理装置，半导体装置之制造方法及记录媒体

摘要

提供一种可减小覆盖区之技术。一种基板处理装置系具有：收纳室，其具备有收纳架，该收纳架系收纳将基板加以收容之收容容器；及收容容器搬送机构，其设置在上述收纳室之天花板部，且用于搬送上述收容容器。