アレイ基板構造、および、接触構造

摘要

【課題】ディスプレイ装置の電気パフォーマンスを維持し或いは向上させ得るアレイ基板構造、および、接触構造を提供する。【解決手段】接触構造は、基板２００と、基板上に位置するアクティブ層２０４と、アクティブ層上に位置する絶縁層２０６と、絶縁層上に位置する層間誘電層２１０と、層間誘電層と絶縁層の一部を貫通すると共に、アクティブ層の一部を露出させ、第一凹口部を有し、第一凹口部が、層間誘電層の底面、絶縁層の側壁、及びアクティブ層の頂面から定められる接触開口２１８と、接触開口を充填すると共に、アクティブ層と電気的に接続する導電層２２０と、を有する。【選択図】図２Ｄ