二氧化碳气泡机

摘要

本实用新型发明公开了半导体加工设备领域的一种二氧化碳气泡机。包括二氧化碳注入器、二氧化碳调节器、二氧化碳净化阀、电阻控制器、电阻检测探头、电阻仪和二氧化碳气源，纯水经过二氧化碳注入器调节成富含二氧化碳的纯水，其特征在于：高阻值的纯水通过电阻控制器进入二氧化碳注入器，与从二氧化碳气源过来的二氧化碳在二氧化碳注入器内混合，混合后的低阻值纯水由管道输出，二氧化碳气源通过气体过滤器和二氧化碳调节器进入二氧化碳注入器，电阻检测探头设置在出水口，电阻检测探头与电阻仪相连，电阻仪显示输出纯水的电阻值。本实用新型具有操作简单、成本低廉、性能稳定和数字式直接显示等优点。

主权项

一种二氧化碳气泡机，包括二氧化碳注入器、二氧化碳调节器、二氧化碳净化阀、电阻控制器、电阻检测探头、电阻仪和二氧化碳气源，纯水经过二氧化碳注入器调节成富含二氧化碳的纯水，其特征在于：高阻值的纯水通过电阻控制器进入二氧化碳注入器，与从二氧化碳气源过来的二氧化碳在二氧化碳注入器内混合，混合后的低阻值纯水由管道输出，二氧化碳气源通过气体过滤器和二氧化碳调节器进入二氧化碳注入器，电阻检测探头设置在出水口，电阻检测探头与电阻仪相连，电阻仪显示输出纯水的电阻值。