| 发明名称 | 一种平行平面间距测量装置及测量方法 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种平行平面间距测量装置，其特征在于：包括底板、旋转台、定位支架和间距测量仪，所述定位支架上安装双向调节测量装置，所述旋转台可相对底板运动，带动所述双向调节测量装置旋转，通过所述间距测量仪测量所述双向调节测量装置探头间距离。本发明还公开了一种平行平面间距测量方法。本发明通过采用双向调节转台式平面测量装置提高了接触式测量精度并减少了测量耗时。测量探头连线与测量平面的夹角可以通过测量装置保证，测量接触力可以通过在线调节保证并一致性较好，可以应用到所有针对狭小空间的高精度接触式平行平面测量。 | ||
| 申请公布号 | CN104776782A | 申请公布日期 | 2015.07.15 |
| 申请号 | CN201410011230.8 | 申请日期 | 2014.01.10 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 郭耸 |
| 分类号 | G01B5/14(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G01B5/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种平行平面间距测量装置，其特征在于：包括底板、旋转台、定位支架和间距测量仪，所述定位支架上安装双向调节测量装置，所述旋转台可相对底板运动，带动所述双向调节测量装置旋转，通过所述间距测量仪测量所述双向调节测量装置探头间距离。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||