发明名称 一种氮化镓基激光二极管
摘要 本发明公开了一种采用镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜的激光二极管,该激光二极管的结构为:n型氧化镍薄膜,其形成在氮化镓衬底的上表面上;镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜,其形成在所述n型氧化镍薄膜的上表面上,以及底电极,其形成在所述n型氧化镍薄膜下表面上,顶电极,其形成在所述镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜的上表面上。
申请公布号 CN103166109B 申请公布日期 2015.07.15
申请号 CN201310064059.2 申请日期 2013.02.28
申请人 溧阳市宏达电机有限公司 发明人 童小春
分类号 H01S5/327(2006.01)I 主分类号 H01S5/327(2006.01)I
代理机构 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 代理人 黄明哲
主权项 一种采用镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜的激光二极管,该激光二极管的结构为:n型氧化镍薄膜,其形成在氮化镓衬底的上表面上;镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜,其形成在所述n型氧化镍薄膜的上表面上,以及底电极,其形成在所述n型氧化镍薄膜下表面上,顶电极,其形成在所述镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜的上表面上;其中,所述镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜的厚度为150nm,该镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜中Mg的摩尔百分含量是8‑13%,砷的摩尔百分含量是0.5‑1.5%;所述n型氧化镍薄膜的厚度为200nm;其中,在常温下,镁砷共掺杂的p型ZnO晶体薄膜的压电常数d<sub>33</sub>大于18pC/N,其电阻率大于10<sup>10</sup>Ω·cm。
地址 213300 江苏省常州市溧阳市北门东路86号
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