硅片线切割断线抢救方法

摘要

本发明涉及对在硅片切片机的加工过程中出现断线事故进行抢救的抢救方法。具体地，本发明涉及在发生断线事故的硅片中保留断线钢线，用于固定硅片位置以利于重新布线对刀的方法。

主权项

一种硅片线切割的断线抢救方法，包括如下步骤：(1)将硅晶棒升起至进刀口位于线网平面下距线网平面的距离为a，除去断线后的线网，保留硅晶棒中的钢线；(2)升起硅晶棒至高于线网平面，并重新布置线网；(3)下压硅晶棒至进刀口位于线网平面下距线网平面的距离为b，其中0＜b＜a；(4)清除硅晶棒中保留的钢线，进行切割；其中在所述步骤(4)中，在清除硅晶棒中保留的钢线后，先将硅晶棒下压至原断线深度，以小于1mm/s的速度走线后，再进行切割，且在硅晶棒下压至原断线深度的过程中保持钢线静止。