基于扫描探针显微镜的材料耐电晕放电老化性能检测装置

摘要

基于扫描探针显微镜的材料耐电晕放电老化性能检测装置，涉及一种材料耐电晕放电老化性能检测装置。本发明是为了解决现有的针板电晕放电测试装置在检测材料放电老化性能时，不能原位的连续检测材料的变化的问题。导电纸的另一端与导电悬臂的一端连接；导电悬臂悬挂在压电陶瓷扫描器的上方；扫描探针显微镜的探针固定在导电悬臂的另一端；压电陶瓷扫描器的上端放置有样品，扫描探针显微镜的探针位于样品的上方；激光器发射的激光入射至扫描探针显微镜的探针背面，激光经扫描探针显微镜的探针反射至探测器；继电器、计时器和电流表均串联在保护电阻和高压电源之间。本发明适用于材料耐电晕放电老化性能检测。

主权项

基于扫描探针显微镜的材料耐电晕放电老化性能检测装置，它包括导电纸(1)、保护电阻(2)和高压电源(3)；所述导电纸(1)的一端通过保护电阻(2)接入高压电源(3)；其特征是：它还包括扫描探针显微镜、继电器、计时器和电流表(12)；扫描探针显微镜包括导电悬臂(5)、压电陶瓷扫描器(9)、激光器(7)和探测器(8)；压电陶瓷扫描器(9)接入电源；导电纸(1)的另一端与导电悬臂(5)的一端连接；导电悬臂(5)悬挂在压电陶瓷扫描器(9)的上方，且与水平方向的夹角为锐角；扫描探针显微镜的探针(6)固定在导电悬臂(5)的另一端；压电陶瓷扫描器(9)的上端放置有样品(4)，所述扫描探针显微镜的探针(6)位于样品(4)的上方，且与样品(6)之间的距离为d，d通过压电陶瓷扫描器(9)控制在亚微米至微米范围内；激光器(7)发射的激光入射至扫描探针显微镜的探针(6)背面，所述激光经扫描探针显微镜的探针(6)反射至探测器(8)；继电器、计时器和电流表(12)均串联在保护电阻(2)和高压电源(3)之间。