发明名称 正性工作光敏材料
摘要 本文中公开的是一种包含杂环硫醇化合物或其互变异构形式的光敏组合物,以及其在基底上的使用方法,该基底可以包括亲硫元素基底。
申请公布号 CN104781731A 申请公布日期 2015.07.15
申请号 CN201380059193.1 申请日期 2013.12.04
申请人 AZ电子材料卢森堡有限公司 发明人 刘卫宏;卢炳宏;M·A·塔奇;赖淑美;樱井祥晴;菱田有高
分类号 G03F7/039(2006.01)I 主分类号 G03F7/039(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 汪宇伟
主权项 正性工作光敏组合物,包含:a.至少一种光生酸剂;b.至少一种聚合物,包含一种或多种(甲基)丙烯酸酯重复单元并进一步包含一种或多种具有至少一个酸可裂解基团的重复单元;c.至少一种包含选自以下通式的环结构的杂环硫醇化合物或其互变异构体:<img file="FDA0000715904310000011.GIF" wi="891" he="239" />其中该环结构是具有4‑8个原子的单环结构,或具有5‑20个原子的多环结构,并且其中该单环结构或多环结构包含芳族、非芳族或杂芳族环,并且其中X通过单键结合到环中并选自CR<sub>1</sub>R<sub>2</sub>、O、S、Se、Te或NR<sub>3</sub>,或X通过双键结合到环中并选自CR<sub>1</sub>或N,并且Y选自CR<sub>1</sub>或N,且其中R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>和R<sub>3</sub>独立地选自H、具有1‑8个碳原子的取代烷基、具有1‑8个碳原子的未取代烷基、具有1‑8个碳原子的取代烯基、具有1‑8个碳原子的未取代烯基、具有1‑8个碳原子的取代炔基、具有1‑8个碳原子的未取代炔基、具有1‑20个碳原子的取代芳族基团、具有1‑20个碳原子的取代杂芳族基团、具有1‑20个碳原子的未取代芳族基团和具有1‑20个碳原子的未取代杂芳族基团。
地址 卢森堡卢森堡