用于气体回收和再利用的系统和方法

摘要

工艺气体，例如但不限于氦气，可用于制造各种物品。本文中描述了收集、再利用和再循环在生产过程中使用的工艺气体，而不是将这些物料作为废弃物处理。

主权项

用于从至少一个生产工具回收用于物品生产的工艺气体的设备，所述设备包括：(a)至少一个生产工具，其包含用于引入工艺气体的输入管线，其中所述至少一个生产工具与工艺控制器电连通；(b)流出物管线，其与至少一个生产工具流动连通并在所述至少一个生产工具中加工所述物品之后移出用过的工艺气体；(c)在所述流出物管线中的阀，其允许从所述生产工具移出所述用过的工艺气体；(d)回收管线，其将所述用过的工艺气体引向处理管线；和(e)所述处理管线，其包含净化器，其中所述用过的工艺气体在所述净化器中被处理以提供回收的工艺气体。