| 发明名称 | 迂回式红外传感器 | ||
| 摘要 | 在一个实施例中，MEMS传感器包括镜和与镜间隔开的吸收体，所述吸收体包括多个间隔开的导电臂，所述多个间隔开的导电臂跨越所述镜正上方的区域地限定蜿蜒路径。 | ||
| 申请公布号 | CN104781641A | 申请公布日期 | 2015.07.15 |
| 申请号 | CN201380056207.4 | 申请日期 | 2013.08.29 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司;F·普尔科利;G·亚马;A·费伊;Ｇ·奥布赖恩 | 发明人 | F·普尔科利;G·亚马;A·费伊;Ｇ·奥布赖恩 |
| 分类号 | G01J5/04(2006.01)I;G01J5/02(2006.01)I;G01J5/06(2006.01)I;G01J5/20(2006.01)I;G01J5/08(2006.01)I | 主分类号 | G01J5/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 郭毅 |
| 主权项 | 一种MEMS传感器，其包括：镜；和与所述镜间隔开的吸收体，所述吸收体包括多个间隔开的导电臂，所述多个间隔开的导电臂跨越所述镜正上方的区域地限定蜿蜒路径。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||