发明名称 集成传感器的封装结构和封装方法
摘要 本发明公开了一种集成传感器的封装结构和封装方法,包括:第一基板和第一外壳,所述第一外壳与所述第一基板围成第一封装腔体;设置在所述第一封装腔体内的多个传感器,每个所述传感器均包括MEMS传感器芯片和与所述MEMS传感器芯片电连接的ASIC芯片;在所述第一封装腔体的内部,至少一个所述传感器的ASIC芯片的外部设有屏蔽结构。本发明通过对集成传感器中的容易受到干扰的ASIC芯片的外部设置屏蔽结构,使其与其它传感器单元隔离封装,避免集成传感器中的其它传感器单元对其影响干扰,有效提升了该传感器单元的性能和集成传感器的整体性能。
申请公布号 CN104779213A 申请公布日期 2015.07.15
申请号 CN201510180610.9 申请日期 2015.04.16
申请人 歌尔声学股份有限公司 发明人 端木鲁玉;张俊德;宋青林
分类号 H01L23/10(2006.01)I;H01L23/552(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I 主分类号 H01L23/10(2006.01)I
代理机构 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 代理人 马佑平;黄锦阳
主权项 一种集成传感器的封装结构,其特征在于,包括:第一基板和第一外壳,所述第一外壳与所述第一基板围成第一封装腔体;设置在所述第一封装腔体内的多个传感器,每个所述传感器均包括MEMS传感器芯片和与所述MEMS传感器芯片电连接的ASIC芯片;在所述第一封装腔体的内部,至少一个所述传感器的ASIC芯片的外部设有屏蔽结构。
地址 261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号