发明名称 |
集成传感器的封装结构和封装方法 |
摘要 |
本发明公开了一种集成传感器的封装结构和封装方法,包括:第一基板和第一外壳,所述第一外壳与所述第一基板围成第一封装腔体;设置在所述第一封装腔体内的多个传感器,每个所述传感器均包括MEMS传感器芯片和与所述MEMS传感器芯片电连接的ASIC芯片;在所述第一封装腔体的内部,至少一个所述传感器的ASIC芯片的外部设有屏蔽结构。本发明通过对集成传感器中的容易受到干扰的ASIC芯片的外部设置屏蔽结构,使其与其它传感器单元隔离封装,避免集成传感器中的其它传感器单元对其影响干扰,有效提升了该传感器单元的性能和集成传感器的整体性能。 |
申请公布号 |
CN104779213A |
申请公布日期 |
2015.07.15 |
申请号 |
CN201510180610.9 |
申请日期 |
2015.04.16 |
申请人 |
歌尔声学股份有限公司 |
发明人 |
端木鲁玉;张俊德;宋青林 |
分类号 |
H01L23/10(2006.01)I;H01L23/552(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/10(2006.01)I |
代理机构 |
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 |
代理人 |
马佑平;黄锦阳 |
主权项 |
一种集成传感器的封装结构,其特征在于,包括:第一基板和第一外壳,所述第一外壳与所述第一基板围成第一封装腔体;设置在所述第一封装腔体内的多个传感器,每个所述传感器均包括MEMS传感器芯片和与所述MEMS传感器芯片电连接的ASIC芯片;在所述第一封装腔体的内部,至少一个所述传感器的ASIC芯片的外部设有屏蔽结构。 |
地址 |
261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号 |