Röntgenstrahlenanalysegerät

摘要

Röntgenstrahlenanalysegerät, welches umfasst: einen Probentisch, um eine scheibenförmige Probe einer Art zu stützen, welche eine kristalline Struktur aufweist, welche auf dem Probentisch angeordnet worden ist; eine Röntgenstrahlenquelle, um monochromatisierte primäre Röntgenstrahlen in Richtung der Probe auszustrahlen; einen Detektor, um von der Probe emittierte, sekundäre Röntgenstrahlen zu detektieren; eine Parallelverschiebungseinheit, um den Probentisch parallel zu bewegen, so dass ein beliebiger Messpunkt einer Messfläche der Probe innerhalb eines Blickfelds des Detektors angeordnet werden kann; eine Dreheinheit, um den Probentisch um eine Achse zu drehen, welche senkrecht zur Messfläche der Probe ist; und eine Steuereinheit, um die Röntgenstrahlenquelle, die Parallelverschiebungseinheit und die Dreheinheit zu steuern; in welchem in Bezug auf einen bestimmten beliebigen Messpunkt, welcher in der Nähe einer Kante der Probe liegt, die Messung durch Positionierung des bestimmten beliebigen Messpunkts so durchgeführt wird, dass die monochromatisierten primären Röntgenstrahlen von einem Bereich oberhalb der Probe ausgestrahlt werden und in Richtung außerhalb des Bereichs reflektiert werden; in welchem die Steuereinheit einen vorbestimmten Winkel eines Werts speichert, welcher gleich oder kleiner als ein Winkel 2θ1 ist, welcher durch die folgende Gleichung (1) auf der Basis des Radius R der Probe und des Radius T des Blickfelds des Detektors in der Messfläche der Probe bestimmt wird, aber nicht kleiner als 4° ist; sinθ1 = (R–T)/R(1)in welchem mittels der Steuereinheit die monochromatisierten primären Röntgenstrahlen von der Röntgenstrahlenquelle ausgestrahlt werden, während die Probe von der Dreheinheit um 360° um einen vorbestimmten Punkt der Probe gedreht wird, und ein Beugungsmuster, in welchem die Intensität der sekundären Röntgenstrahlen einer Wellenlänge der vom Detektor detektierten, monochromatisierten primären Röntgenstrahlen in Verbindung mit dem Drehwinkel der Probe gebracht wird, erfasst und gespeichert wird, in welchem mittels der Steuereinheit, während das Beugungsmuster von einer linearen Linie gescannt wird, welche die Intensität der sekundären Röntgenstrahlen in einer Höhen- und Tiefenrichtung der Intensität darstellt, Punkte auf dem Beugungsmuster, welche eine Intensität aufweisen, welche nicht höher als die Intensität ist, welche durch die lineare Linie dargestellt wird, als Kandidatenpunkte genommen werden und entsprechende Drehwinkel der Kandidatenpunkte gespeichert werden, wenn der Maximalwert des Drehwinkelunterschieds zwischen benachbarten Kandidatenpunkten der vorbestimmte Winkel wird; und in welchem in Abhängigkeit der Koordinaten des Messpunkts der Probe der Drehwinkel, welcher am nächsten zu den Koordinaten des Messpunkts ist, von den gespeicherten entsprechenden Drehwinkeln der Kandidatenpunkte ausgelesen wird, wobei die Dreheinheit und die Parallelverschiebungseinheit so gesteuert werden, dass die Probe in einem Drehwinkel eingestellt wird, welcher so ausgelesen wird, und der Messpunkt der Probe innerhalb des Blickfelds des Detektors angeordnet ist.