发明名称 发光二极体之制备方法
摘要
申请公布号 TWI492415 申请公布日期 2015.07.11
申请号 TW101123128 申请日期 2012.06.28
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 发明人 张淏酥;朱钧;李群庆;金国藩;范守善
分类号 H01L33/10 主分类号 H01L33/10
代理机构 代理人
主权项 一种发光二极体之制备方法,其包括以下步骤:步骤a:提供一基底,该基底具有一外延生长面;步骤b:在基底的外延生长面依次外延生长一缓冲层以及一有源层,该有源层包括一第一半导体层、一活性层及一第二半导体层;步骤c:形成一第三光学对称层于所述第二半导体层远离基底的表面,所述第三光学对称层的折射率的范围为1.2至1.5;步骤d:形成一金属层于所述第三光学对称层远离基底的表面;步骤e:形成一第四光学对称层于所述金属层远离基底的表面,所述第四光学对称层的折射率的范围为1.2至1.5;步骤f:形成一第一光学对称层于所述第四光学对称层远离基底的表面,该第一光学对称层的折射率n1与所述缓冲层及有源层的整体的等效折射率n2的差值△n1于等于0.3,其中△n1=|n1-n2|;步骤g:去除所述基底,暴露出所述第一半导体层;及步骤h:在第一半导体层暴露的表面制备一第一电极,制备一第二电极与第二半导体层电连接。
地址 新北市土城区自由街2号