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经营范围
发明名称
吸附装置
摘要
申请公布号
TWI492271
申请公布日期
2015.07.11
申请号
TW098106214
申请日期
2009.02.26
申请人
东京应化工业股份有限公司
发明人
中村彰彦;桂川纯一
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
一种吸附装置,其特征为,具备有:真空吸附被吸附物的真空吸附手段;及与上述真空吸附手段成对,可夹持上述被吸附物的吸附辅助手段,吸附辅助手段,系具备:缸筒、能够游动地收容缸筒的缸筒支撑架、以及和缸筒连接且与上述被吸附物呈相向的面。
地址
日本
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