发明名称 基座基板之制造方法、电子装置之制造方法、基座基板及电子机器
摘要
申请公布号 TWI492676 申请公布日期 2015.07.11
申请号 TW102123368 申请日期 2013.06.28
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 鎌仓知之
分类号 H05K1/05;C04B37/02;H05K3/46 主分类号 H05K1/05
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种基座基板之制造方法,其特征在于包括如下步骤:准备绝缘体基板;于上述绝缘体基板上形成以含有钨及钼中之至少1种且熔点为1000℃以上之金属为主成分之第1膜;于上述第1膜上形成以镍为主成分且含有硼之第2膜;对上述第1膜及上述第2膜进行烧结处理,而形成第1金属层;及于上述第1金属层上形成以钯为主成分之第2金属层。
地址 日本