发明名称 |
基座基板之制造方法、电子装置之制造方法、基座基板及电子机器 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI492676 |
申请公布日期 |
2015.07.11 |
申请号 |
TW102123368 |
申请日期 |
2013.06.28 |
申请人 |
精工爱普生股份有限公司 |
发明人 |
鎌仓知之 |
分类号 |
H05K1/05;C04B37/02;H05K3/46 |
主分类号 |
H05K1/05 |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
主权项 |
一种基座基板之制造方法,其特征在于包括如下步骤:准备绝缘体基板;于上述绝缘体基板上形成以含有钨及钼中之至少1种且熔点为1000℃以上之金属为主成分之第1膜;于上述第1膜上形成以镍为主成分且含有硼之第2膜;对上述第1膜及上述第2膜进行烧结处理,而形成第1金属层;及于上述第1金属层上形成以钯为主成分之第2金属层。
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地址 |
日本 |