双真空净化结构

主权项

一种双真空净化结构，其包括: 一外部真空单元，其具有一外部入气阀及一外部排气阀；以及 至少一内部真空单元，其中每一内部真空单元设置于该外部真空单元内且具有: 一第一真空层，其具有至少一第一排气阀； 一第二真空层，其设置于该第一真空层内且具有至少一第二排气阀；及 一内部入气阀，其分别连结穿设于该第一真空层与该第二真空层。