| 摘要 |
<p>【課題】取替え型のプラズマ反応装置用のブッシュユニットを提供する。【解決手段】第１のチャンバー１２０及び第２のチャンバー１３０を有するプラズマ反応装置１００用のブッシュユニット１１０であって、第１のチャンバーと接続するための第１の接続部１１２と、第２のチャンバーのドッキング部１３２とドッキングするための第２の接続部１１４とを含んでいる。第１の接続部は第１のチャンバーの内側壁の構造と相補しており、第１の接続部及び第２の接続部の両方の横方向の辺サイズが異なっている。【選択図】図４</p> |
