发明名称 Method of large area copper nano wire electrode array using aligned copper nano wire
摘要 <p>본 발명은 구리 나노선 패턴을 포함하는 나노선 전극 어레이의 제조방법에 관한 것으로, 구리 전구체 및 유기 고분자를 증류수 또는 유기 용제에 혼합하여 구리 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 준비하는 단계, 기판으로부터 수직으로 상기 구리 전구체/유기 고분자 복합체 용액을 적하하여, 상기 상에 정렬된 구리 전구체/유기 고분자 복합 나노선 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 정렬된 구리 전구체/유기 고분자 복합 나노선 패턴을 가열하여 정렬된 구리 나노선 패턴을 형성하는 단계를 포함함에 따라, 구리 나노선 패턴의 위치와 방향을 정확히 조절할 수 있고, 구리 나노선 패턴을 원하는 방향에 정렬시킬 수 있다. 따라서, 나노선 패턴의 해상도가 향상된 나노선 전극 어레이를 제공할 수 있다. 또한, 제조공정이 빠르고 간소화된 나노선 전극 어레이의 제조방법을 제공할 수 있다.</p>
申请公布号 KR101535725(B1) 申请公布日期 2015.07.09
申请号 KR20130142934 申请日期 2013.11.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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