| 摘要 |
<p>이송 진공로봇이 개시된다. 이송 진공로봇으로서, 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇으로서, 기판을 놓는 과정에 발생되는 흔들림을 보정하기 위하여 암의 흔들림을 보상하여주는 흔들림 보정장치를 포함하는 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇을 제공한다. 또한, 8축 이송로봇은, 각 상부 핸드/하부 핸드에 구동력 암과 보조 암을 배치시켜 구동 시 발생되는 강성을 높이고 구동시에 발생되는 흔들림을 보정하는 보정장치를 구비함으로써, 보다 정밀한 8축 이송로봇을 제공한다.</p> |
