发明名称 RESISTANCE VARIABLE MEMORY DEVICE AND METHOD FOR FORMING THE SAME
摘要 <p>가변저항 기억 소자 및 그 제조방법을 제공한다. 하부 전극 상에 식각 저지막을 형성하고, 상기 식각 저지막 상에 몰딩막을 형성하고, 상기 식각 저지막 및 상기 몰딩막을 리세스하여 제 1 폭을 갖는 하부와 제 2 폭을 갖는 상부를 포함한 리세스 영역을 형성하고, 상기 리세스 영역 내에 가변저항막을 형성하는 것을 포함한다.</p>
申请公布号 KR101535649(B1) 申请公布日期 2015.07.09
申请号 KR20090000854 申请日期 2009.01.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/8247;H01L27/115 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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