钛掺杂镓酸镧发光材料、制备方法及其应用

摘要

一种钛掺杂镓酸镧发光材料，其化学式为La_1-xGaO₃:xTi⁴⁺，其中0.03≤x≤0.12。该钛掺杂镓酸镧发光材料制成的发光薄膜的电致发光光谱(EL)中，在530nm波长区都有很强的黄光发光峰，能够应用于薄膜电致发光显示器中。本发明还提供该钛掺杂镓酸镧发光材料的制备方法及其应用。

主权项

一种钛掺杂镓酸镧发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：根据La_1‑xGaO₃：xTi⁴⁺各元素的化学计量比称取La₂O₃、Ga₂O₃和TiO₂粉体并混合均匀在900℃～1300℃下烧结0.5小时～5小时制成靶材，其中0.03≤x≤0.12；将所述靶材以及衬底装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体，并将真空腔体的真空度设置为1.0×10^‑3Pa～1.0×10^‑5Pa；及调整磁控溅射镀膜工艺参数为：基靶间距为50mm～100mm，磁控溅射工作压强0.2Pa～4.5Pa，工作气体的流量为15sccm～30sccm，衬底温度为250℃～750℃，接着进行制膜，得到化学式为La_1‑xGaO₃：xTi⁴⁺的钛掺杂镓酸镧发光薄膜。