分压控制系统、流量控制系统以及用于分压控制系统的喷头板

摘要

本发明提供一种分压控制系统所使用的喷头板，由间隔部件隔开，分割成多个区域，各个区域与分压控制系统连接，对从各个区域向供给对象物排出的作用气体加以控制，其特征在于，排出作用气体的气体孔配置为正三角形，相对所述供给对象物体从中心向周围配置为六角形。

主权项

一种分压控制系统所使用的喷头板，其特征在于，所述喷头板由正圆形的间隔部件隔开，划分成包括中心喷头和边缘喷头，各喷头与所述分压控制系统连接，所述分压控制系统对从各喷头向基板喷出的作用气体进行控制，所述喷头板具有向所述基板供给所述作用气体的多个气体孔，所述气体孔形成于通过所述间隔部件将所述喷头板划分成包括中心喷头和边缘喷头的各区域中，所述气体孔的排列形状为正三角形，所以相邻的气体孔的间隔恒定，且所述气体孔的排列形状为相对所述基板从中心向周围配置为六角形，且与将所述气体孔布置成正方形的喷头板比较、以降低破坏所述气体孔的概率的方式安装所述间隔部件。