一种电容式湿度传感器

摘要

本发明公开了一种电容式湿度传感器，包括由衬底、介质层和金属电极层构成的检测电容；检测电容呈悬臂梁结构状，其中，介质层设在衬底上，金属电极层位于介质层上；金属电极层上还设有湿度敏感应变层。本发明提供的电容式湿度传感器，其结构简单，加工方便，并且还具有线性度好、温度漂移小、响应速度快、敏感电容损耗小、寄生电容小以及易与CMOS工艺兼容等优点。

主权项

一种电容式湿度传感器，其特征在于，包括由衬底（1）、介质层（2）和金属电极层（3）构成的检测电容；所述检测电容呈悬臂梁结构状，其中，所述介质层（2）设在衬底（1）上，金属电极层（3）位于介质层（2）上；所述金属电极层（3）上还设有湿度敏感应变层（4）；所述介质层（2）为固体弹性电介质层，是二氧化硅层、氮化硅层或二氧化硅与氮化硅的复合介质层；所述湿度敏感应变层（4）为聚酰亚胺感湿层。