一种用于光学测量设备的微环境控制系统

摘要

本发明涉及一种用于光学测量设备的微环境控制系统，包括环境压力控制模块，其中所述环境压力控制模块包括：进风装置，包括入口和出口，所述进风装置的入口经过所述气流温度控制模块耦接至大气，所述进风装置的出口的方向设置成与所述光学测量设备的待测晶圆方向的角度在预定范围内；以及出风装置，包括入口和出口，所述出风装置的入口耦接至所述进风装置的出口，所述出风装置的出口耦接至大气。

主权项

一种用于光学测量设备的微环境控制系统，包括环境压力控制模块，其中所述环境压力控制模块包括：进风装置，包括入口和出口，所述进风装置的入口经过气流温度控制模块耦接至大气，所述进风装置的出口的方向设置成与所述光学测量设备的待测晶圆方向的角度在预定范围内，以使得光学测量区域存在水平层流；以及出风装置，包括入口和出口，所述出风装置的入口耦接至所述进风装置的出口，所述出风装置的出口耦接至大气；其中，所述进风装置的进气量大于所述出风装置的出气量。