| 发明名称 | PN结制作方法及太阳能电池片 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种PN结制作方法及太阳能电池片。该PN结制作方法包括：掺磷步骤，在810℃～870℃，向硅片表面通入氧气和三氯氧磷。上述制作方法相对现有技术的低温扩散，会获得宽度较大的PN结，即获得较浅的磷扩散深度，故电流从结到电极处的距离减小，载流子在迁移过程中被复合几率降低，导致电极电流增大。同时伴随着磷扩散深度较浅，N型部分中的磷浓度逐渐变大，硅表面的磷浓度则趋于一稳定值，即在此温度区间可以通过调整温度实现硅表面磷浓度的变化，从而间接调控PN结产生的电极电流。由于PN结的结宽较大，即获得了较浅的磷扩散深度，在硅片表面与PN结之间的磷原子浓度增大，从而使PN结曲线较陡。 | ||
| 申请公布号 | CN104766909A | 申请公布日期 | 2015.07.08 |
| 申请号 | CN201510200908.1 | 申请日期 | 2015.04.24 |
| 申请人 | 英利集团有限公司 | 发明人 | 马红娜 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/225(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 赵囡囡;梁文惠 |
| 主权项 | 一种PN结制作方法，其特征在于，所述PN结制作方法包括：掺磷步骤，在810℃～870℃，向硅片表面通入氧气和三氯氧磷。 | ||
| 地址 | 071051 河北省保定市朝阳北大街3399号 | ||