| 发明名称 | 一种用于直拉单晶炉热场的组合加热器 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于直拉单晶炉热场的组合加热器，该加热器为由两个螺旋管状的环形发热部件组合而成的双螺旋管状结构，所述两个环形发热部件分别连接相互独立的电源。本发明用于直拉单晶炉热场，组合加热器中每个螺旋管状结构的环形加热部件的电流大小和方向都是可以独立控制的。在满足焦耳定律提供热效应的同时，在每个环形加热部件腔体内部形成磁场，有利于抑制硅熔体的对流运动。 | ||
| 申请公布号 | CN104762655A | 申请公布日期 | 2015.07.08 |
| 申请号 | CN201310585963.8 | 申请日期 | 2013.11.19 |
| 申请人 | 有研新材料股份有限公司;有研半导体材料有限公司 | 发明人 | 方峰;王学锋;高朝阳;曾泽红;邓德辉;郑沉 |
| 分类号 | C30B15/14(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人 | 刘秀青;熊国裕 |
| 主权项 | 一种用于直拉单晶炉热场的组合加热器，其特征在于，该加热器为由两个螺旋管状的环形发热部件组合而成的双螺旋管状结构，所述两个环形发热部件分别连接相互独立的电源。 | ||
| 地址 | 100088 北京市西城区新街口外大街2号 | ||