单体、包含所述单体的硬掩膜组成物、以及使用所述硬掩膜组成物形成图案的方法

摘要

本发明是关于一种由化学式1表示的硬掩膜组成物用单体、一种含括所述单体的硬掩膜组成物，及一种使用所述硬掩膜组成物形成图案的方法。

主权项

一种硬掩膜组成物用的单体，由下列化学式1表示：[化学式1]其中于化学式1中，A¹至A³各自独立地为经取代或未经取代的脂肪族环状基团或芳族环状基团，X¹和X²各自独立地为C＝O、NR^a、氧(O)、硫(S)、CR^bR^c或其组合，其中R^a至R^c各自独立地为氢、经取代或未经取代的C1至C10烷基、羟基、卤素原子、含卤素基团或其组合，L¹和L²各自独立地为单键、经取代或未经取代的C1至C20亚烷基、经取代或未经取代的C3至C20环亚烷基、经取代或未经取代的C6至C20亚芳基、经取代或未经取代的C2至C20杂亚芳基或其组合，Y¹和Y²各自独立地为经取代或未经取代的C2至C20烯基，n1和n2为0≤n1≤10及0≤n2≤10的整数，以及n1和n2不同时为0。