微机械惯性传感器器件

摘要

微机械惯性传感器(200)，具有测量六个自由度的单个检验质量块(201)。所述单个检验质量块(201)包括：框架(202)；x轴线检验质量块部分(212a，212b)，其通过第一挠曲部附接至所述框架；以及y轴线检验质量块部分(218)，其通过第二挠曲部(228a，228b)附接至所述框架(202)。所述单个检验质量块(201)在一个微机械结构层中形成，且适于测量单一驱动运动下的关于三个轴线的角速度和关于所述三个轴线的线性加速度。

主权项

一种用于测量关于三个轴线的角速度和关于三个轴线的线性加速度的传感器，所述传感器包括：框架；第一平面检验质量块部分，其通过第一挠曲部附接至所述框架；第二平面检验质量块部分，其通过第二挠曲部附接至所述框架；以及锚，被固定至布置在所述第一平面检验质量块部分和所述第二平面检验质量块部分下方的一个晶圆；其中所述第一平面检验质量块部分和所述第二平面检验质量块部分被配置为关于所述锚被同相地驱动；其中所述框架、所述第一平面检验质量块部分和所述第二平面检验质量块部分形成于一个微机械层中，且适于测量关于三个轴线的角速度和关于所述三个轴线的线性加速度；其中所述第一平面检验质量块部分被配置用于测量关于第一轴线和与所述第一轴线垂直的第二轴线的角速度和线性加速度；其中所述第二平面检验质量块部分被配置用于测量关于与所述第一轴线和所述第二轴线垂直的第三轴线的角速度和线性加速度。